中关村协同创新基金投资企业华海清科成功登陆上交所科创板


6月8日,由中关村协同创新南宁水木子基金投资的华海清科股份有限公司(以下简称“华海清科”)成功登陆上交所科创板,正式挂牌上市,股票代码为688120。此次募集资金将用于高端半导体装备(化学机械抛光机)产业化、高端半导体装备研发、晶圆再生等项目,以及补充流动资金。

华海清科股份有限公司是一家拥有核心自主知识产权的高端半导体设备制造商,主要从事半导体专用设备的研发、生产、销售及技术服务,主要产品为化学机械抛光(CMP)设备。公司自2013年成立以来始终坚持核心技术自主研发,核心研发团队承接自清华大学摩擦学国家重点实验室,先后承担了国家02重大专项等多项国家级重大研发项目,在化学机械抛光设备核心关键技术层面取得了有效突破和系统布局,推出了国内首台12英寸CMP设备并实现量产销售,是目前国内唯一一家为集成电路制造商提供12英寸CMP商业机型的高端半导体设备制造商。

华海清科产品已广泛应用于中芯国际、长江存储、华虹集团、英特尔等国内外先进集成电路制造商大生产线中,打破了国际巨头在此领域数十年的垄断。公司在逻辑芯片制造、3D NAND制造、DRAM制造等领域的工艺技术水平已分别突破至14nm、128层、1X/1Ynm,均为当前国内大生产线的最高水平。

2020年,华海清科成功突破晶圆减薄面临的超平整、超薄化、超洁净、低损伤等极高技术挑战,研制出12英寸减薄抛光一体机,为公司打开了3D IC及先进封装等市场。以自有CMP设备和自主CMP技术为依托,公司打通了全程无污染、低缺陷、高平整度、高洁净度的晶圆再生工艺流程,为客户提供制程先进、良品率高、周转快的晶圆再生服务。公司已逐步形成了集成电路关键制造装备、耗材及技术服务、晶圆再生代工业务协同发展的产业布局。

中关村协同创新母基金的区域合作子基金“南宁水木愿景创业投资中心(有限合伙)”于2020年3月投资华海清科,中关村协同创新基金携手合作机构积极支持华海清科发展,赋能企业成长,助力企业实施创新驱动战略,解决“卡脖子”关键核心技术问题,推动国家集成电路产业发展。


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